全鋼或鋁合金防靜電架空地板：最常用，導(dǎo)電性能好，便于下方走線，便于形成等電位接地網(wǎng)絡(luò)。

PVC防靜電卷材/片材：鋪設(shè)于平整地面，美觀、耐磨，但接地網(wǎng)絡(luò)需專門(mén)鋪設(shè)。

類型選擇：

關(guān)鍵參數(shù)：表面電阻和系統(tǒng)電阻需滿足國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)（如GB 50174中規(guī)定的 1.0×10^5 Ω 至 1.0×10^9 Ω）。電阻值在此范圍內(nèi)既能快速泄放靜電，又能保障人員安全（避免觸電）。

接地：地板必須有完善的接地系統(tǒng)，通過(guò)銅箔網(wǎng)格或接地導(dǎo)線連接到實(shí)驗(yàn)室的共用接地端子。

宜采用防靜電涂料或具有防靜電功能的彩鋼板、石膏板。避免使用易產(chǎn)生靜電的普通塑料或絕緣材料裝飾。

靜電在低濕度環(huán)境（相對(duì)濕度低于40%）下極易產(chǎn)生。實(shí)驗(yàn)室需配備恒溫恒濕空調(diào)系統(tǒng)，將相對(duì)濕度控制在40%-60% 的適宜范圍內(nèi)。這是成本效益最高的防靜電措施之一。

對(duì)于潔凈度要求高的區(qū)域，普通HEPA過(guò)濾器摩擦可能產(chǎn)生靜電。可選用防靜電型HEPA過(guò)濾器。

在關(guān)鍵區(qū)域（如芯片操作臺(tái)）上方，可安裝離子風(fēng)機(jī)，它能持續(xù)產(chǎn)生正負(fù)離子流，中和工作區(qū)域內(nèi)物體表面積累的靜電。