關(guān)鍵要素 | 十萬級(jí)(ISO 7級(jí))核心要求 | 備注 |
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換氣次數(shù) | ≥15次/小時(shí) | 最核心的參數(shù),直接決定潔凈度 |
壓差控制 | 相鄰區(qū)域10-15Pa | 維持潔凈氣流方向,防止污染 |
高效過濾器 | 末端HEPA過濾 | 過濾效率99.97%以上(對(duì)0.3μm) |
氣流組織 | 上送下回/側(cè)回 | 保證氣流均勻,消除死角 |
裝修材料 | 彩鋼板、圓弧角、自流平/PVC地面 | 光滑、不起塵、易清潔、無死角 |
溫濕度 | T: 20-24°C±2℃, RH: 45-65%±5% | 根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求微調(diào) |